会员单位
26、江苏英特神斯科技有限公司
江苏英特神斯科技有限公司
联系方式
单位名称:江苏英特神斯科技有限公司
单位地址:南京市浦口区丽新路19号
单位电话:025-66621998
网址:www.intellisense.com.cn
企业概况
1、主营规模情况介绍
江苏英特神斯科技有限公司是国内第一家专业从事MEMS（微电子机械系统）软件研究开发和硬件设计制造的高科技企业，拥有国际先进水平的微米纳米设计技术。具备6000平方米研发大楼和百级、千级净化区，购置双面光刻、金属镀膜、晶圆键合、PECVD、RIE等加工设备，初步建成MEMS传感器芯片工艺线。公司多次与北京大学、东南大学联合承担的国家“863”项目，国家重点研发计划，均已通过科技部验收；与清华大学、中国科学院等10多家单位建立战略合作关系。公司自行研制开发的MEMS系统分析与设计软件具有国际原创性，已成功推向海外市场，并填补了我国在该领域的空白。软件已在全球200多家MEMS研发单位、多条加工工艺线上得到应用，主要客户有intel、丰田、三星、清华大学、中科院、上海微工业技术研究院、中国电科等单位，取得了良好的经济与社会效益。公司建立了企业院士工作站；江苏省、南京市外国专家工作室；南京市微米纳米工程技术研究中心。自行研发的MEMS系统分析与设计软件先后荣获荣中国电子学会科学技术奖二等奖、荣获国家教育部技术发明二等奖、荣获国家科学技术进步二等奖。
2、主营业务介绍等信息
（1）软件业务。IntelliSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟、利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量（场）耦合分析，以及MEMS-IC的系统级分析仿真。为MEMS器件设计提供完整的解决方案。
（2）硬件业务。各类MEMS传感器的设计、生产、封装、测试、咨询。包含压力传感器、温/湿度传感器、陀螺、加速计、微流体传感器、射频开关等MEMS传感器。微纳传感器芯片键合、光刻、刻蚀等关键工艺服务。MEMS/CMOS设计、CMOS低功耗电路设计、低功率传感器接口电路设计等。
3、重点产品及主要知识产权情况介绍
压电微机械超声换能器(PMUT)；超声发动机；加速度计；IntelliSuite软件。
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